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Photomask Blanks缺陷檢查裝置

簡要描述：LODAS™ – BI8是列真株式會社推出的一款Photomask Blanks缺陷檢查裝置。

  • 產品型號：LODAS™ – BI8
  • 廠商性質：代理商
  • 產品資料：
  • 更新時間：2024-11-09
  • 訪  問  量： 1459

詳細介紹

列真株式會社自創業以來，秉承“挑戰"、“創造"、“誠實"的經營理念，為顧客提供可靠、可信的產品和服務。運用激光掃描技術，專門制造、銷售半導體材料表面及內部檢查、石英玻璃表面檢查等檢查裝置。

特征：

  • 可檢查鉻膜、半色調膜、光阻膜

  • 白缺陷、黑缺陷的自動判別

  • 不僅是表面缺陷，內部缺陷和背面缺陷也同時檢查。

  • 有助于缺陷分析的4種Review圖像。

  • “AI Classify"進行缺陷分類、好壞判定。

  • 免維護。

  • 世界FIRST使用反射散射光、透射散射光、共聚焦光的混合檢查裝置。

  • 能檢出至今為止檢查不出的缺陷。

檢出缺陷：顆粒、劃痕、凹坑、氣泡。

規格：

  • 檢查激光：405nm 200mW LaserDiode

  • 檢查時間：180sec

  • 檢查對象：6英寸 Photomask blanks

  • 設備尺寸：WxDxH＝450x500x730mm

  • 使用電源：AC100V~200V 10A



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